Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR

Veřejná soutěž

Výzkumné granty 1 (SAV0-AB2001)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.<br>Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition

Anotace anglicky

The development of novel and modified thin film deposition techniques, study of their possibilities and characterization of discharge plasma is very important for creation of new types of thin films, multilayers, complex and doped layers, graded coatings, waveguiding films, nanostructures, etc. The improvement of present deposition systems, and construction of new hybrid deposition techniques, is necessary. Our attention will be focused on development of systems combining pulsed laser deposition witah concentrated RF and hollow cathode discharges, and magnetron sputtering. The RF biasing and laser modification of the film surface sill be also applied to inhance density and crystallization of the growing films. Formation processes in discharge plasma will be studied by diode-laser spectroscopy, OES, Langmuir probes and CCD camera. Films will be characterized by WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Microhardness and adhesion will be also tested.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20506 - Coating and films

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Vyvinut a realizován hybridní laserový depoziční systém kombinující současně laserovou ablaci, magnetronové naprašování a radiofrekvenční výboje. Byly deponovány a studovány tenké vrstvy nových typů materiálů za atypických technologických podmínek.

Zahájení řešení

1. 1. 2001

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-AV0-IA-U/04:2

Datum dodání záznamu

26. 9. 2007

Celkové uznané náklady

11 286 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

3 736 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

7 450 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

100 tis. Kč