Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku.
Cíle projektu
Cílem navrhovaného projektu je aplikovaný výzkum plně inteligentních senzorů tlaku využívajících struktur MEMS a navazujících nanotechnologických struktur včetně výzkumu a experimentálního ověření nových principů snímání tlaku. Mezi cíle patří vývoj unikátních výrobních technologií, které umožní: a)vyrobit nebo aplikovat membránu z optimálně navrženého materiálu s povrchovou úpravou vhodně zvoleným materiálem, ideálním profilem plochy, b)vyvinout vhodnou technologii MEMS pro snímání, vytvořit modul tlakového snímače MEMS s optimálním rozhraním pro dosažení ideálních vlastností senzoru, c) vyrobit tabletu vlastního snímače tlaku MEMS z vybraných materiálů s integrovaným obvodem ASIC.Výstupem projektu převážně základního a plikovaného výzkumu budou novémetody a technologie MEMS pro senzorové vnímání tlak.
Klíčová slova
Pressure sensorMEMS structurenanotechnologymicrostructuremicrosystemnew method of pressure sensingsmart sensor
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
Trvalá prosperita
Veřejná soutěž
Trvalá prosperita 1 (SMPO200600001)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
2A-1TP1/143
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements
Anotace anglicky
The goal of the project is the research of complex smart pressure sensors based on the new sensing systém using MEMS structure and nanotechnology structure including reserach and experimental validation of this new pressure sensing pronciple.The goal ofthe project is the research and development of unique manufactoring technologies, which enable:a) to fabricate or apply membrane from optimal designed material which surface layout, ideal relief structure and profile of reflecting spot. b) to develop ideal technology MEMS of sensing. To design and fabricate module of pressure MEMS sensors with optimal properties of sensors. c) to design fabricate pressure MEMS sensor capsule using selected material for use with integrated circuit ASIC. The objective ofthe project of applied research will be new methods and technology of pressure sensors and function specimen of smart pressure sensor type MEMS and nanosensor.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
CEP - hlavní obor
JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace
CEP - vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)20201 - Electrical and electronic engineering
20204 - Robotics and automatic control
20205 - Automation and control systems
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Hlavním výstlupem projektu aplikovaného výzkumu jsou nové postupy pro výrobu inteligentních tlaků a funkční vzor inteligentního senzoru tlaků v technologii MEMS. Byla vyvinuta nová řada tlakových senzorů DSPxxx a DSKxxx.
Termíny řešení
Zahájení řešení
15. 11. 2006
Ukončení řešení
31. 12. 2011
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
29. 3. 2011
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP12-MPO-2A-U/01:1
Datum dodání záznamu
23. 7. 2012
Finance
Celkové uznané náklady
84 866 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
45 000 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
39 866 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
84 866 tis. Kč
Statní podpora
45 000 tis. Kč
53%
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
CEP
JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace
Doba řešení
15. 11. 2006 - 31. 12. 2011