Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku.

Poskytovatel

Ministerstvo průmyslu a obchodu

Program

Trvalá prosperita

Veřejná soutěž

Trvalá prosperita 1 (SMPO200600001)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

2A-1TP1/143

Název projektu anglicky

Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements

Anotace anglicky

The goal of the project is the research of complex smart pressure sensors based on the new sensing systém using MEMS structure and nanotechnology structure including reserach and experimental validation of this new pressure sensing pronciple.The goal ofthe project is the research and development of unique manufactoring technologies, which enable:a) to fabricate or apply membrane from optimal designed material which surface layout, ideal relief structure and profile of reflecting spot. b) to develop ideal technology MEMS of sensing. To design and fabricate module of pressure MEMS sensors with optimal properties of sensors. c) to design fabricate pressure MEMS sensor capsule using selected material for use with integrated circuit ASIC. The objective ofthe project of applied research will be new methods and technology of pressure sensors and function specimen of smart pressure sensor type MEMS and nanosensor.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20201 - Electrical and electronic engineering<br>20204 - Robotics and automatic control<br>20205 - Automation and control systems

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Hlavním výstlupem projektu aplikovaného výzkumu jsou nové postupy pro výrobu inteligentních tlaků a funkční vzor inteligentního senzoru tlaků v technologii MEMS. Byla vyvinuta nová řada tlakových senzorů DSPxxx a DSKxxx.

Zahájení řešení

15. 11. 2006

Ukončení řešení

31. 12. 2011

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

29. 3. 2011

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP12-MPO-2A-U/01:1

Datum dodání záznamu

23. 7. 2012

Celkové uznané náklady

84 866 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

45 000 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

39 866 tis. Kč