MEMS ESO - MEMS sensory s optickým snímáním
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje EPSILON
Veřejná soutěž
EPSILON 3 (STA02017TH030)
Hlavní účastníci
Honeywell International s.r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
TH03010205 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
MEMS ESO - MEMS sensors with optical scanning
Anotace anglicky
The main objective of the project is research and development of functional sample of MEMS inertial sensor with optical sensing. The parameters of the gyroscope will be validate by measurement. This objective comprise research and development of front-end integrated circuit with innovative architecture, development and validation of precise laser micromachining technology for optical materials as well as development of interferometric measurement set-up for nano-scale movement measurement. Major Project deliverables: Functional sample of the MEMS inertial sensor with optical read-out (12/2021) Validated technology for precise micromachining of optical materials Details are provided in the proposal appendix - chapter 1 Hlavni příloha.
Vědní obory
Kategorie VaV
VV - Experimentální vývoj
OECD FORD - hlavní obor
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - vedlejší obor
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - další vedlejší obor
20202 - Communication engineering and systems
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika<br>JB - Senzory, čidla, měření a regulace<br>JW - Navigace, spojení, detekce a protiopatření
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Jedná se o předběžné údaje, neproběhlo Závěrečné oponentní řízení.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2018
Ukončení řešení
31. 12. 2021
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2021
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP22-TA0-TH-U
Datum dodání záznamu
30. 6. 2022
Finance
Celkové uznané náklady
39 179 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
23 230 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
16 536 tis. Kč