Metrologie při výrobě tenkých vrstev

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

Šestý rámcový program Evropského společenství pro výzkum, technický rozvoj a demonstrační činnosti

Veřejná soutěž

FP6-2005-Energy-4

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

RP - Spolufinancování programu EK

Číslo smlouvy

MSMT-2490/2013-310

Název projektu anglicky

Metrology for the manufacturing of thin films

Anotace anglicky

Within this project questions related to the characterization of thin films will be addressed. Particular tasks are as follows: - traceability, intercomparison and validation of methods used for determination of material properties relevant for thin filmsystems, - development and evaluation of measurement methods for difficult layered systems, - metrology applicable on the manufacturing quality control. Within the project, CMI will deal with reflectance measurement on large areas of a sample. It is a method known as digital reflectometry with the help of which it is possible to calculate a set of reflectometric spectra from a series of images acquired under illumination with light of different wavelengths. From the reflectometric spectra it is then possible to calculate the optical properties of the sample such as index of refraction, extinction coefficient or thickness of the thin film on large sample area (ca 1 cm2).

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt se zabýval návazností při měření různých fyzikálních a strukturních vlastností tenkých vrstev, v průběhu jeho řešení byla proto vyvinuta řada metrologických zařízení, metodických postupů a referenčních materiálů pro různé metody analýzy tenkých ?

Zahájení řešení

1. 1. 2012

Ukončení řešení

31. 7. 2014

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

6. 3. 2014

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP15-MSM-7A-U/01:1

Datum dodání záznamu

2. 7. 2015

Celkové uznané náklady

1 033 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 033 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč