Traceable characterisation of nanostructured devices
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Šestý rámcový program Evropského společenství pro výzkum, technický rozvoj a demonstrační činnosti
Veřejná soutěž
FP6-2005-Energy-4
Hlavní účastníci
Český metrologický institut
Druh soutěže
RP - Spolufinancování programu EK
Číslo smlouvy
MSMT-45248/2013-7
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Traceable characterisation of nanostructured devices
Anotace anglicky
The aim of the JRP is to develop traceable measurement and characterisation of physical and chemical properties of the next generation of integrated nano structured devices with sub 30 nm dimensions using novel 3D architectures. Improvement of non-destructive methods for the characterisation of nanolayers and buried interfaces, by chemical depth-profiling of nanolayers (up to 200 nm) with trace level sensitivity. Development of essential metrology to enable 3D nanoscale chemical imaging of organic electronic materials using new massive argon cluster sputtering combined with secondary ion mass spectrometry (SIMS). This will be done by 3D chemical characterisation of nanolayers and interfaces with depth resolutions of better than 10 nm at depths of up to400 nm and a spatial resolution better than 100 nm. Development of a novel method for 3D nano-electrical characterisation of organic semiconductor nanostructures and nanostructured self-assembled reference materials (with resolution better than 30 nm) for the metrological studies of the techniques.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10304 - Nuclear physics
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt se zaměřoval na chemickou a rozměrovou analýzu systémů tenkých vrstev pomocí různých měřicích technik (SIMS, rtg. reflexe, SPM, atd). ČMI se zaměřilo na modelování lokálního rozdělení elektromagnetického pole při měření fotokonduktivního AFM na organických tenkých vrstvách, např. využívaných v solárních článcích.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2013
Ukončení řešení
30. 6. 2015
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
20. 2. 2015
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP16-MSM-7A-U/01:1
Datum dodání záznamu
11. 10. 2017
Finance
Celkové uznané náklady
1 370 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
765 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
605 tis. Kč