Integration of processes and moDules for the 2 nm node meeting Power Performance Area and Cost requirements
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Společná technologická iniciativa ECSEL
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
M2 - Mezinárodní spolupráce
Číslo smlouvy
MSMT-17739/2021-3/4
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Integration of processes and moDules for the 2 nm node meeting Power Performance Area and Cost requirements
Anotace anglicky
The overall objective of ID2PPAC is to demonstrate for the 2 nm node that the Performance Power Area and Cost (PPAC) requirements for this generation of leading edge logic technology can be achieved, by developing, consolidating and integrating selected technology solutions for "Lithography Equipment", "Metrology Equipment", "Mask Equipment" and "Process Development & Modules Integration."
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
OECD FORD - vedlejší obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - další vedlejší obor
21001 - Nano-materials (production and properties)
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BH - Optika, masery a lasery<br>BM - Fyzika pevných látek a magnetismus<br>JJ - Ostatní materiály
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Krystal GAGG:Ce,Mg se zrychlenou scintilační odezvou (cca 5 ns) byl vyvinut ve FZÚ. Bude aplikován v rychlém detektoru SEM v nových litografických scannerech. Je také zvažováno využití v detektorech na urychlovačích ve fyzice vysokých energií.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 6. 2021
Ukončení řešení
31. 12. 2024
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
10. 2. 2024
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP25-MSM-8A-U
Datum dodání záznamu
27. 6. 2025
Finance
Celkové uznané náklady
4 692 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
3 048 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
1 642 tis. Kč