Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”
8B16014

Traceable three-dimensional nanometrology

Veřejná podpora

  • Poskytovatel

    Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

  • Program

    Evropský metrologický program pro inovace a výzkum

  • Veřejná soutěž

  • Hlavní účastníci

    Český metrologický institut

  • Druh soutěže

    M2 - Mezinárodní spolupráce

  • Číslo smlouvy

    MSMT-21096/2016-7

Alternativní jazyk

  • Název projektu anglicky

    Traceable three-dimensional nanometrology

  • Anotace anglicky

    The scientific and technical objectives of this project are to: 1. Reduce the 3D nanomeasurement uncertainty, by means of a bottom up approach, to less than 1 nm for nanodimensional measurands (including line width, height, pitch, and edge/width roughness) on engineered nanostructures and nanoparticles. In addition, to reduce the noise level of metrological AFMs (MAFMs) to 0.1 nm (rms) using a top-down approach, to raise the scanning speed up to 1 mm/s, and to extend the scanning range up to 25 mm/s by further developing the state-of-the-art optical and x-ray interferometry (XRI). 2. Develop reference materials for 3D nanometrology tools including AFM and Scanning Electron Microscopy (SEM). In particular, to realise test structures for characterising the tip geometry in AFMs and the beam size in SEMs and reference standards for width and sidewall roughness measurements. 3. Widen the understanding of probe-sample interactions in AFM and SEM measurements for reducing the measurement uncertainty. In particular, to study the tip-sample interaction force of AFM line width and nanoparticle measurements; to model the image formation of SEM; and to investigate the influence of humidity on AFM measurements. 4. Develop a hybrid metrology for merging measurement results from either different tools (e.g. AFM, SEM, Transmission Electron Microscopy (TEM), Mueller polarimetry and optical scatterometry) or different channels of a single tool. 5. Facilitate the take up of the technology and measurement infrastructure developed by the project by the measurement supply chain (accredited laboratories, instrument manufacturers) and end users (semiconductor industry, precision engineering, optical industry and nanoparticle researchers).

Vědní obory

  • Kategorie VaV

    ZV - Základní výzkum

  • CEP - hlavní obor

    FQ - Veřejné zdravotnictví, sociální lékařství

  • CEP - vedlejší obor

  • CEP - další vedlejší obor

  • OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

Hodnocení dokončeného projektu

  • Hodnocení poskytovatelem

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Zhodnocení výsledků projektu

    Hodnocení výsledků řešení ministerstvo neprovádí, neboť podmínkou podpory je, že uchazeč byl vybrán mezinárodním poskytovatelem v souladu s pravidly příslušného programu. Projekt je hodnocen až po jeho schválení mezinárodním poskytovatelem.

Termíny řešení

  • Zahájení řešení

    1. 10. 2016

  • Ukončení řešení

    30. 9. 2019

  • Poslední stav řešení

    U - Ukončený projekt

  • Poslední uvolnění podpory

    12. 2. 2019

Dodání dat do CEP

  • Důvěrnost údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Systémové označení dodávky dat

    CEP20-MSM-8B-U/01:1

  • Datum dodání záznamu

    18. 6. 2020

Finance

  • Celkové uznané náklady

    4 834 tis. Kč

  • Výše podpory ze státního rozpočtu

    2 532 tis. Kč

  • Ostatní veřejné zdroje financování

    0 tis. Kč

  • Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

    2 302 tis. Kč