Traceable three-dimensional nanometrology
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Evropský metrologický program pro inovace a výzkum
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Český metrologický institut
Druh soutěže
M2 - Mezinárodní spolupráce
Číslo smlouvy
MSMT-21096/2016-7
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Traceable three-dimensional nanometrology
Anotace anglicky
The scientific and technical objectives of this project are to: 1. Reduce the 3D nanomeasurement uncertainty, by means of a bottom up approach, to less than 1 nm for nanodimensional measurands (including line width, height, pitch, and edge/width roughness) on engineered nanostructures and nanoparticles. In addition, to reduce the noise level of metrological AFMs (MAFMs) to 0.1 nm (rms) using a top-down approach, to raise the scanning speed up to 1 mm/s, and to extend the scanning range up to 25 mm/s by further developing the state-of-the-art optical and x-ray interferometry (XRI). 2. Develop reference materials for 3D nanometrology tools including AFM and Scanning Electron Microscopy (SEM). In particular, to realise test structures for characterising the tip geometry in AFMs and the beam size in SEMs and reference standards for width and sidewall roughness measurements. 3. Widen the understanding of probe-sample interactions in AFM and SEM measurements for reducing the measurement uncertainty. In particular, to study the tip-sample interaction force of AFM line width and nanoparticle measurements; to model the image formation of SEM; and to investigate the influence of humidity on AFM measurements. 4. Develop a hybrid metrology for merging measurement results from either different tools (e.g. AFM, SEM, Transmission Electron Microscopy (TEM), Mueller polarimetry and optical scatterometry) or different channels of a single tool. 5. Facilitate the take up of the technology and measurement infrastructure developed by the project by the measurement supply chain (accredited laboratories, instrument manufacturers) and end users (semiconductor industry, precision engineering, optical industry and nanoparticle researchers).
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
FQ - Veřejné zdravotnictví, sociální lékařství
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
—
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Hodnocení výsledků řešení ministerstvo neprovádí, neboť podmínkou podpory je, že uchazeč byl vybrán mezinárodním poskytovatelem v souladu s pravidly příslušného programu. Projekt je hodnocen až po jeho schválení mezinárodním poskytovatelem.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 10. 2016
Ukončení řešení
30. 9. 2019
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
12. 2. 2019
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP20-MSM-8B-U/01:1
Datum dodání záznamu
18. 6. 2020
Finance
Celkové uznané náklady
4 834 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 532 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
2 302 tis. Kč