Traceability of localised functional properties of nanostructures with high speed scanning probe microscopy
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Evropský metrologický program pro inovace a výzkum
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Český metrologický institut
Druh soutěže
M2 - Mezinárodní spolupráce
Číslo smlouvy
8B21006
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Traceability of localised functional properties of nanostructures with high speed scanning probe microscopy
Anotace anglicky
The overall objective of this project is to design and develop technologies for transforming HS-SPM (~10 mm/s) metrology instruments for use in industrial high-speed quantitative multi-sensing metrology with a target traceable position measurement uncertainty of 1 nm. The developed instrument will be suitable for the industrial characterisation of functional nanostructure property combinations (electrical, chemical, mechanical, dimensional).
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10700 - Other natural sciences
OECD FORD - vedlejší obor
10700 - Other natural sciences
OECD FORD - další vedlejší obor
10700 - Other natural sciences
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
—
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 9. 2021
Ukončení řešení
31. 8. 2024
Poslední stav řešení
B - Běžící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
27. 4. 2022
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP23-MSM-8B-R
Datum dodání záznamu
15. 2. 2023
Finance
Celkové uznané náklady
7 056 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
7 056 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč