Traceability of localised functional properties of nanostructures with high speed scanning probe microscopy
Cíle projektu
The overall objective of this project is to design and develop technologies for transforming HS-SPM (~10 mm/s) metrology instruments for use in industrial high-speed quantitative multi-sensing metrology with a target traceable position measurement uncertainty of 1 nm. The developed instrument will be suitable for the industrial characterisation of functional nanostructure property combinations (electrical, chemical, mechanical, dimensional).
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Evropský metrologický program pro inovace a výzkum
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Český metrologický institut
Druh soutěže
M2 - Mezinárodní spolupráce
Číslo smlouvy
8B21006
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Traceability of localised functional properties of nanostructures with high speed scanning probe microscopy
Anotace anglicky
The overall objective of this project is to design and develop technologies for transforming HS-SPM (~10 mm/s) metrology instruments for use in industrial high-speed quantitative multi-sensing metrology with a target traceable position measurement uncertainty of 1 nm. The developed instrument will be suitable for the industrial characterisation of functional nanostructure property combinations (electrical, chemical, mechanical, dimensional).
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10700 - Other natural sciences
OECD FORD - vedlejší obor
10700 - Other natural sciences
OECD FORD - další vedlejší obor
10700 - Other natural sciences
CEP - odpovídající obory
(dle převodníku)—
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 9. 2021
Ukončení řešení
31. 8. 2024
Poslední stav řešení
K - Končící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
30. 1. 2024
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP24-MSM-8B-R
Datum dodání záznamu
19. 2. 2024
Finance
Celkové uznané náklady
7 056 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
7 056 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
7 056 tis. Kč
Statní podpora
7 056 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
OECD FORD
Other natural sciences
Doba řešení
01. 09. 2021 - 31. 08. 2024