Implementace efektivní technologie nanášení tenkých pasivačních a antireflexních vrstev do výroby krystalických solárních článků

Poskytovatel

Ministerstvo průmyslu a obchodu

Program

TIP

Veřejná soutěž

TIP 1 (SMPO2009/01)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

FR-TI1/603

Název projektu anglicky

Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells

Anotace anglicky

At present, the passivation and antireflection layers of crystalline silicon solar cells (produced by Solartec) are realized by stoichiometric silicon nitride (Si3N4) films grown on silicon substrate under low pressure and relative high temperature conditions from the gas mixture of dichlorsilane and ammonia. During this LP CVD process electronic properties of the silicon wafers usually degrade mainly due to high temperature. Proposed project deals with deposition of such layers by a new technology based on the magnetron sputtering system. Under conditions of low-temperature plasma a broad-spectrum of suitable materials can be deposited by this well-controllable process depending on the sputtering targets used. Research of the in-situ non-chemical cleaning of silicon wafers by means of hydrogen radicals generated by plasma just before the deposition process is another complementary part of this project.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20201 - Electrical and electronic engineering<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Výsledkem řešení projektu jsou ověřené technologie plazmo-chemického čištění povrchu a naprašování tenkých dialektrických antireflexních a pasivačních vrstev na povrchy krystalických křemíkových lolárních článků určencých pro estetické aplikace.

Zahájení řešení

1. 10. 2009

Ukončení řešení

30. 9. 2013

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

29. 3. 2013

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP14-MPO-FR-U/02:2

Datum dodání záznamu

17. 7. 2014

Celkové uznané náklady

27 399 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

18 849 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

8 549 tis. Kč