*Pokročilé automatické vytváření nanostruktur pomocí elektronových a iontových svazků

Poskytovatel

Ministerstvo průmyslu a obchodu

Program

TIP

Veřejná soutěž

TIP 2 (SMPO2010/01)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

FR-TI2/756

Název projektu anglicky

*Advanced automated nano structuring using electron and ion beams

Anotace anglicky

*The aim of the project is a development of a new dual beam (FIB-SEM) machine for use in nanotechnology, nanosciences and industrial applications. It will combine existing advantages of FIB-SEM with advantages of the stage with an absolute precision similar to lithographic stages. This machine would enable to do automated local nano structuring. A new gas injection system will be integrated into FIB-SEM. The objective lens of the electron column will be newly designed in order to enable processing of wafers. Design of all these objectives will be verified by construction of a demonstrator and its testing.

Kategorie VaV

VV - Experimentální vývoj

CEP - hlavní obor

BF - Elementární částice a fyzika vysokých energií

CEP - vedlejší obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10303 - Particles and field physics<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Cíle a věcná náplň předmětného projektu byly splněny ve stanoveném rozsahu a termínech.

Zahájení řešení

1. 1. 2010

Ukončení řešení

31. 12. 2012

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

26. 3. 2012

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP13-MPO-FR-U/02:2

Datum dodání záznamu

14. 7. 2014

Celkové uznané náklady

20 384 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

11 085 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

9 299 tis. Kč