Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti

Název projektu anglicky
Laser sources and optical systems metrology in DUV spectral range
Anotace anglicky
The main goal of the project is to create custom laser source at 266 nm and 213 nm in collaboration with Institute of Scientific Instruments of the CAS and to adapt metrology background and methods mainly to the wavelengths 213 nm and 193 nm for further application in Meopta-optika, s.r.o. production.

Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - vedlejší obor
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - další vedlejší obor
20301 - Mechanical engineering
CEP - odpovídající obory (dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BH - Optika, masery a lasery JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika JB - Senzory, čidla, měření a regulace JR - Ostatní strojírenství JT - Pohon, motory a paliva

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt se zabýval tématem metrologie optických prvků a vývojem světelných zdrojů v DUV spektrální oblasti s cílem podpořit vývoj produktů s vysokou přidanou hodnotou ve společnosti Meopta. Ta cílí zejména na polovodičový průmysl, což je zejména v posledních letech velmi atraktivní oblast v Evropě i dalších oblastech světa. Meopta ověřila několik metrologických postupů a zařízení pro analýzu prvků na vlnových délkách 213 a 266 nm, což je vzhledem ke kvalitě dostupných laserů a optiky pro vysokou energii fotonů poměrně komplikované téma. Další účastník projektu, Ústav přístrojové techniky AV ČR navrhl nový typ kontinuálních laserů vhodných pro inspekční techniky, ale i některé další hi-tech aplikace. Rovněž u těchto funkčních vzorků byla prokázána funkčnost a jsou vhodné k další komercializaci. Lze konstatovat, že projekt byl úspěšný, dosáhl všech stanovených cílů a přinesl nové technologie dostupné pro českého výrobce optiky. Oponentní komise se shodla, že projekt uspěl podle zadání.

Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP25-TA0-FW-U
Datum dodání záznamu
27. 6. 2025

Podobné projekty(10)