Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Poskytovatel

Ministerstvo průmyslu a obchodu

Program

TRIO

Veřejná soutěž

TRIO 4 (SMPO201900001)

Hlavní účastníci

Meopta - optika, s.r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

2019FV40328

Název projektu anglicky

Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range

Anotace anglicky

Main aims of submitted project are the following: 1. Total optical characterization of single coating layers used in multilayer systems, that means coating layers of Al2O3, MgF2, HfO2 and SiO2 materials. 2. Development of antireflection coatings on glass substrates with required values of transmittance for wavelengths 213 nm and 248 nm and for normal angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design and optical characterization of these samples. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 3. Development of mirrors with high reflectance on glass substrates with required average reflectance values for wavelengths 248 nm and 213 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of designs together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance. 4. Development of beam splitter on glass substrates with required p-value of transmittance or for average transmittance for wavelength 248 nm and with required s-value of reflectance for wavelengths 630 nm – 670 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 5. Measurement of internal tensile stress and parameters to characterize mechanical properties of coating layers and multi-layer systems for assessment of lifetime joint with control of surface uniformity of their optical parameters.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

OECD FORD - hlavní obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

OECD FORD - vedlejší obor

20501 - Materials engineering

OECD FORD - další vedlejší obor

—

CEP - odpovídající obory
(dle převodníku)

BH - Optika, masery a lasery
JG - Hutnictví, kovové materiály
JP - Průmyslové procesy a zpracování

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt dosáhl stanovených cílů a výstupů projektu týkajících se vytvoření technologie výroby vrstev Al2O3, MgF2, SiO2 a HfO2, technologie výroby antireflexních vrstev s vysokou propustností a s vysokou odrazivostí na vlnových délkách 213 nm a 248 nm, technologie výroby dělicích vrstev na vlnové délce 248 nm.

Zahájení řešení

1. 5. 2019

Ukončení řešení

31. 12. 2022

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

23. 3. 2021

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP23-MPO-FV-U

Datum dodání záznamu

15. 5. 2024

Celkové uznané náklady

28 726 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

18 289 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

10 437 tis. Kč