Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
TREND
Veřejná soutěž
STA02024FW010
Hlavní účastníci
SVCS Process Innovation s.r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
FW10010021 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
High-temperature annealing furnace for SiC semiconductor substrates
Anotace anglicky
The aim of the project is to develop a prototype of a device for the activation of impurities in SiC substrates at temperatures of 1600 to 2000 °C. Initially, attention will be focused on the high-temperature reactor itself, which will be fitted to the skeleton of the existing vertical furnace of Si technology. Tests of heating system control, temperature calibration and vacuum tightness will be carried out. The aim of the reactor prototype is to identify possibilities for improving the design for the final “activator” with the new frame design allowing for its relatively easy assembly and simple maintenance. A unit for automatic loading SiC substrates will also be developed. The skeleton will include electronics and power sources, a gas panel, a vacuum system and a water-cooling panel.
Vědní obory
Kategorie VaV
VV - Experimentální vývoj
OECD FORD - hlavní obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
OECD FORD - vedlejší obor
20303 - Thermodynamics
OECD FORD - další vedlejší obor
20204 - Robotics and automatic control
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BJ - Termodynamika<br>BM - Fyzika pevných látek a magnetismus<br>JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2024
Ukončení řešení
31. 12. 2025
Poslední stav řešení
K - Končící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2024
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP25-TA0-FW-R
Datum dodání záznamu
20. 2. 2025
Finance
Celkové uznané náklady
32 309 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
22 565 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
10 387 tis. Kč