Minimal Fab design systému depozice po atomárních vrstvách
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
Program podpory aplikovaného výzkumu, experimentálního vývoje a inovací DELTA 2
Veřejná soutěž
1.VS DELTA 2 (STA02019TM010)
Hlavní účastníci
SVCS Process Innovation s.r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
TM01000039 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Minimal Fab Design of the Atomic Layer Deposition System
Anotace anglicky
The objective of proposed project is development of the ALD system that will suit the concept of Minimal Fab (according to the Minimal Fab Promotion Organization-MFPO). Project activities will be focused on design, fluid-dynamic modelling and construction of PEALD prototype for the deposition on ½ "substrates, which would be compatible with the concept. The proposed system will be able to use different sources of low-temperature plasma, depending on the requirements for the specific ALD process. Process chamber will be equipped with height adjustable sample holder heatable up to 550 °C. The final gas panel will use developed miniature components of the main Japanese partner (company Horiba) because of the very limited space for installation in devices with the concept of Minimal Fab.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
OECD FORD - vedlejší obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
OECD FORD - další vedlejší obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BH - Optika, masery a lasery<br>BK - Mechanika tekutin<br>BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech<br>BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Dle doložené dokumentace, odborných i výzkumných zpráv došlo k naplnění a úspěšnému splnění stanovených cílů projektu. Jednotlivé aktivity se promítly do výstupů v podobě funkčních vzorků a prototypů. Plánované termíny dosažení výsledků byly splněny. Vývoj depoziční aparatury splňující koncept Minimal Fab je unikátním počinem českého aplikačního vývoje. Hlavnímu řešiteli se podařilo vstoupit mezi Japonské členy tohoto konceptu. Projekt se věnoval technologii ALD, která není v tomto konceptu ještě zahrnuta. Vývoj těchto zařízení pro výrobu mikroprocesorů a dalších výrobků na substrátech o velikosti 1/2" je zajímavým řešením pro testování nových výrobních postupů a pro výzkumné instituce nabízí zajímavé komerčně dostupné řešení pro výzkum a vývoj v dané oblasti. Výstup projektu má díky navázané spolupráci šanci úspěšně komercializovat svoje vyvinuté řešení. Projekt plně splnil ideu programu DELTA 2. Mezinárodní spolupráce proběhla úspěšně.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2020
Ukončení řešení
31. 12. 2022
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2022
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP23-TA0-TM-U
Datum dodání záznamu
21. 12. 2023
Finance
Celkové uznané náklady
45 180 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
22 529 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
7 968 tis. Kč