Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program podpory aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje DELTA

Veřejná soutěž

DELTA 3 (STA02017TF03)

Hlavní účastníci

SVCS Process Innovation s.r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

2016TF03000025

Název projektu anglicky

Research and development of new plasma-activated ALD system with a unique source of low-temperature plasma based on microwave surfatron and ECWR discharge.

Anotace anglicky

The aim of the project is design, development and implementation of plasma ALD system for low-temperature deposition of thin dielectric and metal films with possibility of application of the atomic layer etching (ALEt). The developed system will appropriately implement the low-temperature discharge into the ALD system. The project will use MW surfatron and ECWR plasma sources. The project focus on the creation of a homogeneous and sufficiently active plasma (high degree of ionization, dissociation and excitation of precursors and reactants) above the substrate. We expect to achieve a higher quality of deposited films compared to the available plasma-activated ALD processes and that developed technology will allow to prepare new types of thin films on new progressive types of substrates.

Kategorie VaV

VV - Experimentální vývoj

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

CEP - další vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Hlavní cíl projektu byl splněn a rovněž bylo dosaženo deklarovaných výsledků podle platné metodiky, které mohou najít uplatnění na trhu. Na druhé straně nebyl časový prostor pro přípravu procesu depozice většího množství různých typů tenkých vrstev, rovněž tak pro nízkoteplotní depozici tenkých vrstev kovů. Na základě dostupných informací lze konstatovat, že zahraniční spolupráce probíhala, plánované činnosti jak z české strany, tak i ze strany zahraničního partnera byly vykonány v souladu s návrhem projektu. Mezinárodní spolupráce přispěla k naplnění cílů projektu. Příjemce uvažuje i o další spolupráci.

Zahájení řešení

1. 11. 2016

Ukončení řešení

31. 10. 2019

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2019

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP20-TA0-TF-U

Datum dodání záznamu

12. 5. 2023

Celkové uznané náklady

27 370 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

20 124 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

7 246 tis. Kč