KOMPAKTNÍHO MEMS PIRANI MANOMETR PRO ROBUSTNÍ TECHNOLOGICKÉ APLIKACE
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
TREND
Veřejná soutěž
STA02024FW010
Hlavní účastníci
LAVAT a.s.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
FW10010337 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
COMPACT MEMS PIRANI MANOMETR FOR RUGGED TECHNOLOGY APPLICATIONS
Anotace anglicky
The goal of the project is to develop a completely new MEMS Pirani manometer, the main added value of which will be a MEMS sensor prepared using advanced methods of plasma deposition of functional layers. This sensor will enable faster and more accurate measurements with the aim of achieving a limit pressure of 10-3 Pa, with the possibility of use in robust applications. Another ambition of the project is to develop the construction of the MEMS sensor in such a way as to achieve simple servicing, the possibility of cleaning and calibration of the sensor. The set goals of the project respond precisely to the weaknesses of the existing Pirani manometers, especially their short life in more stressed environments, their lower accuracy and demanding maintenance (cleaning).
Vědní obory
Kategorie VaV
VV - Experimentální vývoj
OECD FORD - hlavní obor
20501 - Materials engineering
OECD FORD - vedlejší obor
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - další vedlejší obor
21001 - Nano-materials (production and properties)
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika<br>JB - Senzory, čidla, měření a regulace<br>JG - Hutnictví, kovové materiály<br>JJ - Ostatní materiály<br>JP - Průmyslové procesy a zpracování
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2024
Ukončení řešení
30. 6. 2026
Poslední stav řešení
B - Běžící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2024
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP25-TA0-FW-R
Datum dodání záznamu
20. 2. 2025
Finance
Celkové uznané náklady
39 341 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
24 159 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
15 182 tis. Kč