Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Design and construction of the equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity

Anotace anglicky

The project proposal is aimed at a design and construction of the compact equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity. This equipment consists of a stable source of white light, CCD camera and dual spectrophotometer. The function of the instrument (based on an original method of the detection of the white light scattered from the growing thin film in a CCD camera) will be verified via its installation onto a vacuum deposition chamber containing two Kaufman's broad ion beam source-(IBAD). The results will be utilized in the deposition process control and thus we should be able to prepare the multilayer structures with a defined optical properties. The advantage of the apparatus is its wide applicability for in-situ control of thin films deposited by other technologies. In the project students of the Master and PhD degree cource will be involved.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače

CEP - vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

CEP - další vedlejší obor

JR - Ostatní strojírenství

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10304 - Nuclear physics<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20301 - Mechanical engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Přínos projektu spočívá v návrhu zařízení pro in situ měření plošné homogenity tenkých vrstev v jeho realizaci a jeho uplatnění v široké škále experimentů. Při realizaci zařízení byl použit bodový detektor v kombinaci s plošným detektorem, takže zařízení

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 2000

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

1 166 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 050 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč