Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD

Anotace anglicky

The project proposal suggests to design and build an UV optical apparatus for in situ monitoring of areal thickness- and optical homogeneity of thin films. The method and selected UV wavelength region suggested for this task represents an unique approach, which to the best knowledge of the applicant, has not been used for similar in situ applications yet. The main advantage of the use of UV probing light consists in the fact that the changes in the reflectivity in the UV light region are more sensitiveto the variations of film thicknesses than in the VIS-light region, particularly in case of thinner films. The project proposal is based on the knowledge and expertise of the applicant's team achieved during a former GACR project aimed at the developmentof similar apparatus in the VIS-light region. The possible outcome of the project proposal would be a patented design of the PC-controlled instrument working in the UV range (from 200 nm to 400 nm) of the probing light. A significant part of

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

CEP - další vedlejší obor

JR - Ostatní strojírenství

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20301 - Mechanical engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V rámci řešení projektu bylo navrženo, zkonstruováno a testováno několik unikátních optických měřicích přístrojů ke sledování jak ex situ, tak rovněž in situ homogenity růstu tenkých vrstev, které jsou založeny na měření odrazivosti systému substrát - te

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2004

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7

Datum dodání záznamu

2. 6. 2008

Celkové uznané náklady

2 550 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 682 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

868 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč