Řízené depozice směsných a sendvičových tenkých vrstev pomocí reaktivního obloukového výboje ve vakuu

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Západočeská univerzita v Plzni / Nové technologie - výzkumné centrum

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Controlled depostion compound and sandwiches thin films by vacuum reactive arc evaporation

Anotace anglicky

The main goal of suggested grant project is binary, ternary and quaternary nitride thin films deposition by vacuum reactive arc evaporation method first of all point of view material research: different thin films, influence substrate material on systemlayer-substrate and first of all mechanical properties. Arc evaporation has advantages against for example magnetron deposition point of view high deposition rate, high ionization and better adhesion behaviour. In the first stage, the aim will be to workout the depositions of binary nitride TiN and ZrN films directed towards precise correlation between film properties and deposition parameters and microstructures, which is the necessary assumption of controlled mechanical properties utilization. Some of properties of binary nitrides can be improved by additions. The second stage of suggested project is then to deposite ternary nitrides with possibility control composition, their properties study and comparison to thin-film systems prepared under simi

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

CEP - vedlejší obor

JG - Hutnictví, kovové materiály

CEP - další vedlejší obor

JL - Únava materiálu a lomová mechanika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20306 - Audio engineering, reliability analysis<br>20501 - Materials engineering<br>20506 - Coating and films

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Odborný přínos grantového projektu je průkazně doložen sérií příspěvků přednesených na specializovaných konferencích u nás i v zahraničí a také proběhlým, úspěšným oponentním jednáním k získaným výsledkům. Údaje řešitele jsou adekvátní skutečnému přínosu

Zahájení řešení

1. 1. 1996

Ukončení řešení

1. 1. 1998

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

1 871 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 721 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč