Řízené depozice směsných a sendvičových tenkých vrstev pomocí reaktivního obloukového výboje ve vakuu
Cíle projektu
Navrhovaný grant se zabývá depozicemi tenkých vrstev binárních, ternárních a kvarterních nitridů metodou reaktivního obloukového odpařování ve vakuu především z hlediska materiálového výzkumu různých tenkých vrstev, vlivu základního materiálu na výslednýsystém vrstva-substrát a především mechanických vlastností. Obloukové odpařování je výhodnější např. proti magnetronové depozici z hlediska vysoké depoziční rychlosti, vysoké ionizaci částic a lepšího adhezivního chování. Nejprve bude propracována depozice tenkých vrstev binárních nitridů TiN a ZrN s cílem přesně korelovat vlastnosti vrstev s depozičními parametry a s mikrostrukturou vrstev. To je nutný předpoklad řízeného využívání mechanických vlastností. Přidáním příměsí k binárním nitridům docházíke zlepšování některých vlastností. Proto druhým cílem grantu je depozice ternárních nitridů s možností řízení složení v širokém rozsahu. Důkladně budou analyzovány a porovnány tenkovrstvé systémy při obdobných podmínkách jejich depozice. Získaných znal
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Západočeská univerzita v Plzni / Nové technologie - výzkumné centrum
Druh soutěže
—
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Controlled depostion compound and sandwiches thin films by vacuum reactive arc evaporation
Anotace anglicky
The main goal of suggested grant project is binary, ternary and quaternary nitride thin films deposition by vacuum reactive arc evaporation method first of all point of view material research: different thin films, influence substrate material on systemlayer-substrate and first of all mechanical properties. Arc evaporation has advantages against for example magnetron deposition point of view high deposition rate, high ionization and better adhesion behaviour. In the first stage, the aim will be to workout the depositions of binary nitride TiN and ZrN films directed towards precise correlation between film properties and deposition parameters and microstructures, which is the necessary assumption of controlled mechanical properties utilization. Some of properties of binary nitrides can be improved by additions. The second stage of suggested project is then to deposite ternary nitrides with possibility control composition, their properties study and comparison to thin-film systems prepared under simi
Vědní obory
Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
CEP - vedlejší obor
JG - Hutnictví, kovové materiály
CEP - další vedlejší obor
JL - Únava materiálu a lomová mechanika
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)20306 - Audio engineering, reliability analysis
20501 - Materials engineering
20506 - Coating and films
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Odborný přínos grantového projektu je průkazně doložen sérií příspěvků přednesených na specializovaných konferencích u nás i v zahraničí a také proběhlým, úspěšným oponentním jednáním k získaným výsledkům. Údaje řešitele jsou adekvátní skutečnému přínosu
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 1996
Ukončení řešení
1. 1. 1998
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6
Datum dodání záznamu
—
Finance
Celkové uznané náklady
1 871 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 721 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 871 tis. Kč
Statní podpora
1 721 tis. Kč
0%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
Doba řešení
01. 01. 1996 - 01. 01. 1998