Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Deposition of thin films and surface modifications in silent and glow discharges at atmospheric pressure

Anotace anglicky

The goal of the project is to prove the possibility of uniform plasma treatment of different polymers and deposition of silicon oxides, silicon nitrides and plasma polymers containing silicon in atmospheric pressure glow discharge. Both the filamentary (FDBD) and glow (GDBD) dielectric barrier discharges as well as the conditions of transition between them will be studied for various gas mixtures by electrical measurement, images recording with digital camera and optical emission spectroscopy. The effects of both will be compared as concern the treatment and the deposition. Similar comparison will be made between atmospheric and low pressure glow discharges. The treated surfaces and deposited thin films will be investigated by several characterisationtechniques.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Bylo prokázáno, že homogenní doutnaný výboj za atmosférického tlaku hořící v dusíku může být použit pro depozici tenkých vrstev z nejrůznějších monomerů (HMDSO, HMDSN, butadien, ?). Deponované tenké vrstvy byly homogenní, jejich struktura byla polymerní,

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2004

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7

Datum dodání záznamu

2. 6. 2008

Celkové uznané náklady

2 770 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 188 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

582 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč