Studium procesu laserové depozice tenkých vrstev
Cíle projektu
Projekt je zaměřen na studium fyzikálních procesů depozice tenkých vrstev laserovou ablací, studium mechanismu růstu vrstev, parametrů laserové ablace a studium vlastností deponovaných vrstev. Bude zkoumán vliv depozičních podmínek (jako hustota výkonu laserového záření na terči, časové a prostorové rozložení plazmatu, množství a složení ionizovaných částic v plazmovém obláčku, vliv elektrických polí, vzdálenost terč - substrát, složení a tlak atmosféry v interakční komoře během a po depozici, teplota pdložky, rychlost růstu vrstvy, vliv vlastnosti terče, vliv podložky atd.) na růst epitaxních, hladkých, velkoplošných vrstev. Pozornost bude zaměřena zejména na optimalizaci depozičních podmínek při depozici tenkých feroelektrických, supravodivých a tvrdch uhlíkových vrstev. Další oblastí výzkumu je vytváření multivrstev definovaných vlastností.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
—
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Research of Processes of Laser Thin Film Deposition
Anotace anglicky
—
Vědní obory
Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - další vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
—
Zhodnocení výsledků projektu
XXX
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 1993
Ukončení řešení
1. 1. 1995
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/1996/GA0/GA06GA/V/1:1
Datum dodání záznamu
—
Finance
Celkové uznané náklady
112 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
224 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
112 tis. Kč
Statní podpora
224 tis. Kč
200%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 1993 - 01. 01. 1995