Vývoj a adaptace techniky pulsní laserové depozice pro růst gradientních a nanostrukturních vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Development and adaptation of pulsed laser deposition technique for gradient and nanostructured layer growth

Anotace anglicky

The proposed project aims to develop technology for deposition of thin nanostructured and gradient layers, which possess exactly defined structural or compositional profile through the total coating thickness. These coatings will be prepared using hybridtechnique combining the Pulsed Laser Deposition with other deposition methods. Tens or hundreds of monolayers are needed to complete the coating and deposition of one monolayer can take even fraction of seconds only. Therefore it is necessary to build asystem which is controlled by a computer. This system would control the particular laser shots, fast change of the targets, and optionally also other deposition parameters like substrate temperature, gas flow or pressure in the deposition chamber.thickness of a monolayers is an important parameter of the coating. For this reason, a resonance measurement of the layer growth will be installed in the deposition chamber. Quality of the interface between particular nanolayers is an important

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V rámci projektu byla modifikována depoziční komora tak, aby byla umožněna depozice vícevrstvých struktur. Mezi hlavní úpravy patří: počítačem řízená výměna terčů, magnetron opatřený pneumatickou závěrkou, vstupně - výstupní počítačové rozhraní pro řízen

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2004

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2005/GA0/GA05GP/U/N/A:8

Datum dodání záznamu

23. 7. 2008

Celkové uznané náklady

895 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

532 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

363 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč