Přesné měření tlaku nasycených par organokovových sloučenin

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 6 (SGA02004GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Accurate measurement of vapour pressure of metal organic precursors

Anotace anglicky

The knowledge of precise vapour pressure data of metal organic precursors is indispensable for MOVPE process optimisation - now the main epitaxial technology for optoelectronic and ultrafast electronic components. The wide scatter of the published data has not been systematically and critically assessed yet, to give the user up to date and reliable data. Because of the pyrophoric nature of metal organic precursors the most suitable measuring technique for vapour pressure is the static method. The thirdgeneration of the vapour pressure static apparatus designed at ICT Prague has a minimised electro polished internal surface, ultrahigh vacuum design with turbomolecular pumps, precise temperature control and uses a differential pressure gauge MKS Baratron. We have recently published the true vapour pressure data of high purity DEZ, TESb, TEAl, TEGa. The measurement was carried out in the temperature range used for MOVPE. The objective of the project is to measure, critically assess and eventually

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10403 - Physical chemistry<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Pro měření tlaku nasycených par organokovových prekurzorů, z nichž řada je pyroforních, byly vybudovány tři statické aparatury lišící se tlakovým a teplotním rozsahem měření. Aparatury pokrývají teplotní a tlakový rozsah -50 až 200 °C a 0,1 Pa až 13 kPa,

Zahájení řešení

1. 1. 2004

Ukončení řešení

1. 1. 2006

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP07-GA0-GA-U/03:2

Datum dodání záznamu

16. 10. 2007

Celkové uznané náklady

1 982 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 846 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

205 tis. Kč