Měření tenze par organokovových a dalších prekurzorů využitelných pro přípravu nanostruktur
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 11 (SGA02008GA-ST)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
203/08/0217
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Measurement of vapour pressure of metal organic and related precursors for use in nanostructure production
Anotace anglicky
Knowledge of accurate data on vapour pressure of metal organic precursors such as carbonyles, acetylacetonates or metalocenes is essential for control and modelling of growth of semiconductor and metallic layers, nanostructures and nanoparticles. These structures are indispensable in optoelectronics and high speed electronics, in preparation of new semiconductor, dielectric, magnetic and ceramic materials, in catalysis and related chemical processes. Data on vapour pressure of metal organic precursors presented in literature often exhibit a great scatter or are unknown. Static apparatuses for vapour pressure measurement developed at ICT Prague and at IP AS CR (the latter for toxic and dangerous materials) are suitable for highly reactive precursors having low vapour pressure. The project is aimed at measuring and critically assessing vapour pressure data of metal organic and related precursors containing Ni, Fe, Mn, In, Sb and Li used in MOVPE and CVD.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
CEP - vedlejší obor
CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství
CEP - další vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10403 - Physical chemistry<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Předmětem řešení tohoto projektu bylo měření tlaku nasycených par organokovových prekursorů používaných při výrobě struktur vhodných pro optoelektroniku i elektroniku metodou MOVPE. Jedná se o mimořádně reaktivní a toxické (i mimořádně drahé) látky a od?
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2008
Ukončení řešení
31. 12. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
16. 4. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-GA0-GA-U/03:3
Datum dodání záznamu
9. 2. 2015
Finance
Celkové uznané náklady
2 177 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 177 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč