Nové perspektivy v syntéze dopovaného diamantu v mikrovlnné plazmě

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

SGA0202100005

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

21-03538S

Název projektu anglicky

New perspectives in microwave plasma synthesis of doped diamond

Anotace anglicky

The incorporation of active impurities, i.e. doping, is a key technology in the development of the future high electronic and quantum devices based on diamond. Synthesis of doped-diamond by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) have reached its limit using conventional growth parameters. Here, we propose to extend doping limits of diamond and to understand the relation between the properties of the plasma and the ones of doped-diamond using a new process parameter: time. Time-controlled, i.e. pulsed, microwave power was already shown to enhanced the growth and properties of PECVD diamond. We are going to study the effect of controlled pulsed injection of the precursor gases (PH3, B2H6 or B(CH3)3, and N2) and oxygen on the chemical reactions and properties of the plasma by optical emission spectroscopy and its impact on the properties of nitrogen, boron and phosphorus doped diamonds using well-established characterization methods available at the Institute of Physics C.A.S. This work also allows a new understanding of PECVD doped-diamond growth mechanisms.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

OECD FORD - hlavní obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

OECD FORD - vedlejší obor

—

OECD FORD - další vedlejší obor

—

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

Zahájení řešení

1. 7. 2021

Ukončení řešení

31. 12. 2024

Poslední stav řešení

K - Končící víceletý projekt

Poslední uvolnění podpory

6. 3. 2023

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP24-GA0-GA-R

Datum dodání záznamu

19. 2. 2024

Celkové uznané náklady

8 980 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

8 731 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

249 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč