Koherentní zdroj EUV záření pro kompaktní bezčočkovou mikroskopii a precizní metrologii

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

SGA0202500001

Hlavní účastníci

České vysoké učení technické v Praze / Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

25-17853S

Název projektu anglicky

Coherent EUV light source for compact lens-less microscopy and precision metrology

Anotace anglicky

This project aims to revolutionize compact extreme ultraviolet (EUV) radiation sources by developing a novel method for generating coherent and monochromatic EUV pulses with femtosecond duration. We will employ an innovative phase-matching technique for single high-order harmonic generation to produce radiation at wavelengths that are crucial for precision metrology in EUV lithography in the semiconductor industry as well as for fundamental scientific research. Each phase of source development, progressively shortening the wavelength, will be followed by experimental validation in a compact, lens-less microscopy setup, marking the initial application of the source. Our ultimate ambition is to achieve a microscope spatial resolution below 20 nm with a coherent source emitting at 13.5 nm. Moreover, the technical solution will allow the extension of our method to the Water Window, which provides excellent contrast for the microscopy of living tissues in their natural environment, while guaranteeing the scalability of the method for driving lasers with a much higher average power.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

OECD FORD - hlavní obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

OECD FORD - vedlejší obor

—

OECD FORD - další vedlejší obor

—

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

BH - Optika, masery a lasery

Zahájení řešení

1. 1. 2025

Ukončení řešení

31. 12. 2027

Poslední stav řešení

Z - Začínající víceletý projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP25-GA0-GA-R

Datum dodání záznamu

25. 2. 2025

Celkové uznané náklady

6 990 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

6 990 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč