Nízkoenergiový rozptyl iontů LEIS
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Postdoktorandské granty
Veřejná soutěž
Postdoktorandské granty 5 (SGA02005GA1PD)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
202/05/P288
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Low energy ion scattering
Anotace anglicky
The main goal of the project is to carry out elemental and structural analysis of surfaces and ultrathin films. LEIS is a suitable method for this purpose due to its extreme surface sensitivity. It is superior among other analytical methods in simplicityand speed of measured data processing. Hence it matches requirements for in situ deposition monitoring. Surface sensitivity can be specified to the outermost surface monolayer when an electrostatic energy analyser is applied. Other subsurface layers canbe analysed with a ToF (Time of Flight) analyser. The elemental composition and structure of ultrathin films (in the range from one to ten topmost atomic monolayers) will be studied using LEIS spectrometers with both types of analysers. The fundamental objectives of the proposed project: 1) Examination of peak width and shape in LEIS spectra as a function of the thickness of analysed films. The results will be used for fast in situ monitoring of layer deposition at IFE FME BUT. 2) Defect detection in
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10304 - Nuclear physics
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
S - Nesplněno zadání, bylo přistoupeno k sankčním ustanovením smlouvy
Zhodnocení výsledků projektu
V průběhu řešení projektu byly splněny oba základní plánované cíle (úprava TOF-LEIS spektrometru a jeho využití pro in-situ analýzu vlastností tenkých vodivých a polovodivých vrstev a mechanismů jejich růstu na křemíkových substrátech). V prvních dvou le
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2005
Ukončení řešení
31. 12. 2007
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
2. 5. 2007
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP08-GA0-GP-U/03:2
Datum dodání záznamu
17. 10. 2008
Finance
Celkové uznané náklady
489 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
489 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč