Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
202/06/1473
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Deposition of thin films in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure
Anotace anglicky
The goal of the project is the study of the thin film deposition in dielectric barrier discharges burning at atmospheric pressure. For the deposition such types of discharges, which produce homogenneous plasma, will be selected, so that deposited films can be homogenneous also. The posibilities of deposition of thin films with specific properties, eg. hardness and abrasion resistance etc. will be studied. The properties of discharges will be characterised by electrical measurements and optical emision spectroscopy. The prepared thin films will be studied by different diagnostics methods - the morfology of the surface will be studied by AFM and SEM, the chemical composition of films by XPS, FTIR and RBS, further the microhardness, the elastic modulus and the surface free energy will be measured.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Homogenní dielektrický bariérový výboj hořící v dusíku za atmosférického tlaku byl používán pro depozici tenkých vrstev z různých monomerů (hexamethyldisiloxan - HMDSO, tetraethoxysiloxan - TEOS, propan-butan). Jako substráty pro depozice byly použity: s
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2006
Ukončení řešení
31. 12. 2008
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
25. 4. 2008
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP09-GA0-GA-U/02:2
Datum dodání záznamu
22. 10. 2009
Finance
Celkové uznané náklady
2 642 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 642 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč