KONJUGOVANÉ KŘEMÍKOVÉ POLYMERY PRO REZISTY V NANOTECHNOLOGIÍCH
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR
Veřejná soutěž
Výzkumné granty 6 (SAV02006-A)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
IAA100100622
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
CONJUGATED SILICON ? BASED POLYMER RESISTS FOR NANOTECHNOLOGIES
Anotace anglicky
Classical optical and electron lithography continues to be the main technology used in the semiconductor industry for the fabrication at the current 100 nm design rules.Emerging nanoimprint lithography in polymers has already demonstrated 10nm resolutionworking principle. Positive tone resists for advanced mask-making with high-voltage electron-beams will thus have to undergo profound changes. Organic silicon nanostructural polymeric materials are a new group of electronically active materials. The aimof the project is the elucidation of processes leading to the formation of metastable states, as weak bonds, and their conversion to dangling bonds by both the choice of materials and active admixtures in organic silicon polymers. The methods applied inthe project will be photoelectron spectroscopy, effusion spectroscopy, photo- and cathodoluminescence supported by quantum calculations for understanding of the microphysical phenomena responsible for metastability and degradation.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
CD - Makromolekulární chemie
CEP - další vedlejší obor
CC - Organická chemie
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10401 - Organic chemistry<br>10404 - Polymer science
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt řeší formování metastabilních stavů v organokřemíkových polymerech, slabých a přerušených vazeb a jejich ovlivnění výběrem materiálů i aktivních přísad. Byly navrženy postupy k výrobě rezistů z polysilanů pro oblast nanotechnologií.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2006
Ukončení řešení
31. 12. 2009
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 4. 2009
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP10-AV0-IA-U/01:1
Datum dodání záznamu
8. 6. 2010
Finance
Celkové uznané náklady
5 246 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
5 246 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč