Nízkoteplotní plazmatická depozice polykrystalických a nanokrystalických oxidových tenkých vrstev pomocí systému dutých katod

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 5 (SAV02007-B)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

KJB100100707

Název projektu anglicky

Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes

Anotace anglicky

The low temperature deposition of high quality oxide thin films by the multi-plasma jet system will be investigated. Advanced methods of 'in situ' plasma diagnostics will be used and extended. The main interest will be to deposit ferroelectric Ba1-xSrxTiO3 and PbZr1-xTixO3 thin films at low temperature with good dielectric and ferroelectric properties. These parameters will be measured in a wide range of frequencies and temperatures. The main target will be to control the structure with the size of crystallites, accuracy of required chemical composition, density of defects as oxygen vacancies and dielectric properties in dependence on the measured plasma parameters. The doped and gradient perovskite films should be deposited as well. The next target will be to deposit high quality anatase nanocrystalline films with high quality of structure, low density of vacancies and precise stoichiometry. The main interests will be to obtain high deposition rate and good photocatalytic properties.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byl proveden výzkum plazmatických systémů s dutými katodami při depozici vrstev BaxSr1-xTiO3, TiO2 a TiO2:N. Pro diagnostiku plazmatu v těchto systémech byla použita metoda emisní spektroskopie,Langmuirovské sondy a měřní iontového toku na substrát.

Zahájení řešení

1. 1. 2007

Ukončení řešení

31. 12. 2009

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 4. 2009

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP10-AV0-KJ-U/03:3

Datum dodání záznamu

14. 6. 2011

Celkové uznané náklady

1 618 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 618 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč