Studium nanostruktur elektronovým svazkem

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 2 (SAV02004-J)

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Examination of nanostructures by electron beam

Anotace anglicky

Newly developed principale of the scanning electron microscope (SEM) with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution, In the very low energy range (units to hundreds ofeV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic structures of the specimen. The interpretation is hence often ambiguous. Important alternative is a combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within a depth similar to that of the low energy SEM. In the project frame an ultrahigh vacuum apparatus with a field-emission electron gun will be completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range. The elaborated method will be applied to examination of selected semiconductor structures, multilayers and composites based on metal alloys.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)

Hodnocení poskytovatelem

N - Nesplněno zadání

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu bylo po neúspěšné žádosti o změnu řešitele ukončeno GA AV. Projekt tedy nebyl dořešen a cílů vytčených v přihlášce nebylo zcela dosaženo. Projekt je považován za nesplněný.

Zahájení řešení

1. 1. 2004

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

S - Zastavený (předčasně ukončený) víceletý projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-AV0-KJ-U/07:5

Datum dodání záznamu

12. 2. 2014

Celkové uznané náklady

902 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

902 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč