Studium nanostruktur elektronovým svazkem
Cíle projektu
Nově vyvinutý princip rastrovacího elektronového mikroskopu (REM) s katodovou čočkou dovoluje zobrazit vzorek v celém rozsahu energií elektronů s téměř neměnným rozlišením obrazu. V oblasti velmi nízkých energií (jednotky až stovky eV), které nejou k dispozici v klasickém REM (jednotky až desítky keV), je pozorována řada nových kontrastů, na jejichž tvrobě se účastní kolální chemická, krystalická i elektronická struktura vzorku. Interpretace je proto mnohdy nejednoznačná. Důležitou alternativou je kombinace s vhodnou komplementární technikou, zejména s rastrovací mikroskopií Augerovými elektrony pro zjištění lokálního prvkového složení do hloubky podobné rozsahu REM s pomalými elektrony. V rámci projektu bude dokončena ultravysokovakuová aparatura s autoemisním zdrojem elektronů, která umožní srovnání obou metod s prostorovým rozlišením v řádu nm. Po vypracování metody budou studovány vybrané polovodičové struktury, multivrstvy a kompozity na bázi kovových slitin.
Klíčová slova
low energy scanning microscopyAuger electron microscopycompositesmetal alloysultrahigh vaccumfield emission
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Juniorské badatelské grantové projekty
Veřejná soutěž
Juniorské badatelské grantové projekty 2 (SAV02004-J)
Hlavní účastníci
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Examination of nanostructures by electron beam
Anotace anglicky
Newly developed principale of the scanning electron microscope (SEM) with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution, In the very low energy range (units to hundreds ofeV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic structures of the specimen. The interpretation is hence often ambiguous. Important alternative is a combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within a depth similar to that of the low energy SEM. In the project frame an ultrahigh vacuum apparatus with a field-emission electron gun will be completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range. The elaborated method will be applied to examination of selected semiconductor structures, multilayers and composites based on metal alloys.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - další vedlejší obor
JI - Kompositní materiály
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
20201 - Electrical and electronic engineering
20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
N - Nesplněno zadání
Zhodnocení výsledků projektu
Řešení projektu bylo po neúspěšné žádosti o změnu řešitele ukončeno GA AV. Projekt tedy nebyl dořešen a cílů vytčených v přihlášce nebylo zcela dosaženo. Projekt je považován za nesplněný.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2004
Ukončení řešení
1. 1. 2005
Poslední stav řešení
S - Zastavený (předčasně ukončený) víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP06-AV0-KJ-U/07:5
Datum dodání záznamu
12. 2. 2014
Finance
Celkové uznané náklady
902 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
902 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
902 tis. Kč
Statní podpora
902 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 2004 - 01. 01. 2005