Ověření principu nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie s vysokým rozlišením a jeho použití ke studiu nepokovených povrchů málo vodivých materiálů
Cíle projektu
Cílem projektu je ověřit navržený původní princip nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie (REM) pomocí adaptace excitujícího nízkoenergiového REM pro navrženou metodu měření a nastavování 'nenabíjející' energie dopadu elektronů na vzorek. Přístroj bude doplněn o elektronicky řízený vysokonapěťový zdroj pro předpětí vzorku, dále o speciální rastrovací a detekční elektronickou jednotku pro měření závislosti signálu na energii dopadu, o programové vybavení pro řízení měření a pro ovládání mikroskopu v režimu zobrazení na kritické energii a v konečné fázi bude zlepšeno rozlišení mikroskopu rekonstrukcí části osvětlovacího systému. Ověření bude prováděno na površích technických izolantů pomocí studia procesu nabíjení pod dopadem elektronů a jeho závislosti na energii elektronů. Princip bude bezprostředně aplikován na studium povrchů vybraných nevodivých materiálů.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
—
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Verification of the principle of zero - charging high resolution scanning electron microscopy and its applications.
Anotace anglicky
The aim of the project is to verify the newly proposed principle of zero charging scanning electron microscosspy by adapting the existing scanning low energy electron microscope (SLEEM) to the proposed method of measurement and adjustment of the zero charging electron impact energies. SLEEM will be improved by additionally equipping it with an electronically controlled high voltage suplly for specimen biasing, and with a special scanning and detection electronic units for measurement of the signal - energy dependence, together with a software for controlling both the critical energy measurement and the microscopic imaging at critical energies, and in the final stage the microscope resolution will be improved by upgrading parts of the illumination system. The principle verification will be made by observing technical insulatos, and will be immediately applied to systematic studies of selected nonconductive materials.
Vědní obory
Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10403 - Physical chemistry
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Metoda nenabíjecí mikroskopie se ukazuje jako funkční pro preparáty, jejichž povrch neobsahuje velké dutiny s charakteristickým rozměrem 1-10 mikrometru. Metoda se jeví jako výhodná zvláště pro biomedicinské preparáty, makromolekulární látky a keramiky.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 1996
Ukončení řešení
1. 1. 1998
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6
Datum dodání záznamu
—
Finance
Celkové uznané náklady
1 238 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
808 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 238 tis. Kč
Statní podpora
808 tis. Kč
65%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 1996 - 01. 01. 1998