Kvantitativní zobrazování v REM pomocí pružně rozptýlených elektronů

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 18 (SGA0201400001)

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

14-20012S

Název projektu anglicky

Quantitative imaging in SEM with elastically scattered electrons

Anotace anglicky

The main goal of the proposed project is focused on the instrumental development and establishment of the methods for quantitative imaging of very thin specimens by transmitted scattered electrons. This technique will greatly improve classical image which is acquired by a scanning electron microscope (SEM). This will enable on one hand measurement of a mass of imaged nanoparticles or a thickness mapping, and on the other hand simultaneously a high resolution imaging. It requires an extension of a commercial high-resolution SEM without any restriction of its inherent features. The aimed quantitative studies utilize elastically scattered electrons and are applied to individual nanoparticles or macromolecules to measure their total mass, mass distribution and mass-thickness mapping. In order to lower the electron beam damage of sensitive samples, it is necessary to use cryo-techniques that will be adapted for quantitative imaging. Obtained results will greatly aid in structural and biophysical parameters in both life and material sciences.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

CEP - vedlejší obor

JC - Počítačový hardware a software

CEP - další vedlejší obor

JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace

OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)

20201 - Electrical and electronic engineering
20204 - Robotics and automatic control
20205 - Automation and control systems
20206 - Computer hardware and architecture

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt byl zaměřen na instrumentální vývoj a vytvoření metodiky pro kvantitativní zobrazování velmi tenkých vzorků pomocí detekce prošlých rozptýlených elektronů. Byl připraven STEM detektor založený na velmi rychlém scintilátoru, což umožňuje počítat jednotlivé elektrony při velmi nízkých proudech elektronového svazku. Byly vyvinuty softwarové balíky pro zpracování dat.

Zahájení řešení

1. 1. 2014

Ukončení řešení

31. 12. 2016

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

5. 4. 2016

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP17-GA0-GA-U/03:1

Datum dodání záznamu

28. 6. 2017

Celkové uznané náklady

6 874 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

6 874 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč