Výzkum a vývoj pokročilého PVD/PECVD nízkoteplotního plazmatického systému pro depozice funkčních oxidů se zaměřením na tenké a tlusté vrstvy TiO2 pro průmyslové aplikace.

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program podpory aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje DELTA

Veřejná soutěž

DELTA 1 (STA02015TF)

Hlavní účastníci

IQS Group s.r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

2015TF01000084

Název projektu anglicky

Research and development of advanced PVD/PECVD low-temperature plasma system for deposition of functional thin and thick TiO2 films for industrial applications.

Anotace anglicky

The main aim of the project is the design, development and implementation of modular hybrid PVD-PECVD deposition system for low-temperature deposition of functional thin and thick films. The system will be based on multi-jet technology of pulsed hollow cathodes and will enable a fast deposition of homogenous functional films on thermally sensitive substrates with the sizes suitable for industrial application. Main project direction will be focused on TiO2 films (with high application potential for photoelectrochemical water-splitting, applied nanostructured optics, diffraction elements for forgery protection. Compared to existing technology, high deposition rate and high level of adjustability of key parameters of deposited films will be achieved.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

CEP - další vedlejší obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20501 - Materials engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt dosáhl všech svých vytyčených cílů za rozumné náklady. Kvalita jeho výsledků je velice vysoká, což zajišťuje značnou míru následné aplikovatelnosti v praxi. Návratnost investice je díky tomu velice slibná. Mezinárodní spolupráce měla své opodstatnění, avšak byla mírně upozaděna z důvodu nižšího financování z vietnamské strany. Řešitelé doložili spolupráci na společných článcích a diseminačních aktivitách. Dle dostupných informací lze konstatovat, že spolupráce vedla k těsnějšímu navázání vzájemných kontaktů a vzájemné spolupráci v budoucnosti. Z tohoto hlediska lze konstatovat, že projekt svůj cíl i v oblasti podpory mezinárodní spolupráce splnil.

Zahájení řešení

1. 3. 2015

Ukončení řešení

28. 2. 2018

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2018

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP19-TA0-TF-U/09:1

Datum dodání záznamu

28. 6. 2021

Celkové uznané náklady

15 757 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

11 414 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

4 344 tis. Kč