Vývoj DUV laseru pro polovodičovou litografii s pevnolátkovým předzesilovačem emitujícím na vlnové délce 1485 nm

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program podpory aplikovaného výzkumu, experimentálního vývoje a inovací DELTA 2

Veřejná soutěž

1.VS DELTA 2 (STA02019TM010)

Hlavní účastníci

CRYTUR, spol. s r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

TM01000033 - Smlouva o poskytnutí podpory

Název projektu anglicky

Development of DUV seed laser for semiconductor lithography using solid-state laser amplifier at 1485 nm

Anotace anglicky

The project focuses on development of a functional sample of a solid-state seed laser amplifier emiting in mid-infrared and tunable from 1 475 nm to 1 495 nm. The project includes identification of an appropriate laser gain medium, development of a new cooling geometry withstanding high thermal load of the laser, design and construction of a suitable pump source, and construction of the amplifier module in a compact housing. Indicator of reaching project goals is succesfull amplification of nanosecond laser pulses at 1 485 nm to average power of >5 W. The developed amplifier module will be integrated as a part of a commercial DUV excimer light source for semiconductor litography (Gigaphoton, available 2023), or will be offered in customized MIR lasers for biotech. or industry by Hilase.

Kategorie VaV

VV - Experimentální vývoj

OECD FORD - hlavní obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

OECD FORD - vedlejší obor

20501 - Materials engineering

OECD FORD - další vedlejší obor

20201 - Electrical and electronic engineering

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

BH - Optika, masery a lasery<br>JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika<br>JB - Senzory, čidla, měření a regulace<br>JG - Hutnictví, kovové materiály<br>JP - Průmyslové procesy a zpracování

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt je hodnocen jako "uspěl podle zadání". Splnil všechny stanovené cíle, výstup je hodnotný, technicky kvalitní a má potenciál uspět v mezinárodním měřítku. Náklady projektu jsou úměrné složitosti a náročnosti výstupu projektu. Projekt rovněž prohloubil kooperaci Fyzikálního ústavu AV ČR s hi-tech společností Crytur a propojil tyto české účastníky s japonským partnerem, předním světovým výrobcem laserů společností GigaPhoton. Navíc dosažený výsledek projektu, laserový zesilovací modul, byl vyvíjen pro konkrétní aplikaci, kterou je předzesilovač do litografického přístroje. Lze tedy očekávat komerční uplatnění výsledků a tedy i zhodnocení vložených prostředků.

Zahájení řešení

1. 1. 2020

Ukončení řešení

31. 12. 2021

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2022

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP22-TA0-TM-U

Datum dodání záznamu

21. 12. 2023

Celkové uznané náklady

16 118 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

7 339 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

2 659 tis. Kč