Zařízení pro dávkové ALD procesy

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program na podporu aplikovaného výzkumu a inovací SIGMA

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

SVCS Process Innovation s.r.o.

Druh soutěže

VZ - Veřejná zakázka

Číslo smlouvy

2025TQ26000039

Název projektu anglicky

Batch Atomic Layer Deposition (ALD) system for advanced material applications

Anotace anglicky

SMART definition: S - The aim of the project is to develop industrial equipment for batch coating by ALD, including automation, in cooperation with the Korean partner ISAC Research, Inc. M - The developed devices will be capable of depositing layers on at least 25 substrates with a diameter of at least 200 mm simultaneously in a quality comparable to a standard single-plate ALD reactor. A - Two devices will be constructed and tested over a period of 3 years, one for 200 mm substrates (minimum 50 wafers) and the other for 300 mm plates (minimum 25 wafers). R - The target is ambitious given that SVCS has never produced reactors for 300 mm substrates, but realistic (it has the necessary knowledge and experience). T - The design and construction of both reactors will be delayed by one year.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

OECD FORD - hlavní obor

10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)

OECD FORD - vedlejší obor

10403 - Physical chemistry

OECD FORD - další vedlejší obor

20303 - Thermodynamics

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

BE - Teoretická fyzika<br>BJ - Termodynamika<br>CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

Zahájení řešení

1. 1. 2026

Ukončení řešení

31. 12. 2028

Poslední stav řešení

Z - Začínající víceletý projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP26-TA0-TQ-R

Datum dodání záznamu

29. 5. 2026

Celkové uznané náklady

30 392 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

19 995 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

10 396 tis. Kč