Methods for determining and processing 3D errors and uncertainties for AFM data analysis
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F11%3A%230000303" target="_blank" >RIV/00177016:_____/11:#0000303 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00177016:_____/11:#0000379 RIV/00216224:14310/11:00049534
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Methods for determining and processing 3D errors and uncertainties for AFM data analysis
Popis výsledku v původním jazyce
This paper describes the processing of three-dimensional (3D) scanning probe microscopy (SPM) data. It is shown that 3D volumetric calibration error and uncertainty data can be acquired for both metrological atomic force microscope systems and commercialSPMs. These data can be used within nearly all the standard SPM data processing algorithms to determine local values of uncertainty of the scanning system. If the error function of the scanning system is determined for the whole measurement volume of anSPM, it can be converted to yield local dimensional uncertainty values that can in turn be used for evaluation of uncertainties related to the acquired data and for further data processing applications (e.g. area, ACF, roughness) within direct or statistical measurements. These have been implemented in the software package Gwyddion.
Název v anglickém jazyce
Methods for determining and processing 3D errors and uncertainties for AFM data analysis
Popis výsledku anglicky
This paper describes the processing of three-dimensional (3D) scanning probe microscopy (SPM) data. It is shown that 3D volumetric calibration error and uncertainty data can be acquired for both metrological atomic force microscope systems and commercialSPMs. These data can be used within nearly all the standard SPM data processing algorithms to determine local values of uncertainty of the scanning system. If the error function of the scanning system is determined for the whole measurement volume of anSPM, it can be converted to yield local dimensional uncertainty values that can in turn be used for evaluation of uncertainties related to the acquired data and for further data processing applications (e.g. area, ACF, roughness) within direct or statistical measurements. These have been implemented in the software package Gwyddion.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Measurement Science and Technology
ISSN
0957-0233
e-ISSN
—
Svazek periodika
22
Číslo periodika v rámci svazku
2011
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—