Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F11%3A%230000393" target="_blank" >RIV/00177016:_____/11:#0000393 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021" target="_blank" >10.1088/0957-0233/22/9/094021</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)
Popis výsledku v původním jazyce
The thickness measurement of transparent layers with optical techniques is very problematic. The observed deviations can easily reach 100% of the layer thickness to be measured. In order to analyse these deviations, tactile reference measurements have been developed. The proposed method is based on contact mode measurements with low contact pressure. With stylus instruments, this can be realized either by using the recommended tip radius of 2 mu m and very small probing forces in the micronewton range (and low scanning speeds of 50 mu m s(-1)) or by using the recommended probing force of 750 mu N, but a large probing tip radius. Three metal layers on silicon or silicon dioxide and two polymer resist materials on a thin chromium adhesive layer on silicon are used as artefacts. The comparison of the optical measurements with the tactile reference values disclosed deviations of the optical measurements of up to 195% of the layer thickness. Layer thicknesses were between 200 nm and 4 mu m.
Název v anglickém jazyce
Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)
Popis výsledku anglicky
The thickness measurement of transparent layers with optical techniques is very problematic. The observed deviations can easily reach 100% of the layer thickness to be measured. In order to analyse these deviations, tactile reference measurements have been developed. The proposed method is based on contact mode measurements with low contact pressure. With stylus instruments, this can be realized either by using the recommended tip radius of 2 mu m and very small probing forces in the micronewton range (and low scanning speeds of 50 mu m s(-1)) or by using the recommended probing force of 750 mu N, but a large probing tip radius. Three metal layers on silicon or silicon dioxide and two polymer resist materials on a thin chromium adhesive layer on silicon are used as artefacts. The comparison of the optical measurements with the tactile reference values disclosed deviations of the optical measurements of up to 195% of the layer thickness. Layer thicknesses were between 200 nm and 4 mu m.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Measurement Science and Technology
ISSN
0957-0233
e-ISSN
—
Svazek periodika
22
Číslo periodika v rámci svazku
9
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
14
Strana od-do
094021-094034
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—