Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F11%3A%230000393" target="_blank" >RIV/00177016:_____/11:#0000393 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094021" target="_blank" >10.1088/0957-0233/22/9/094021</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The thickness measurement of transparent layers with optical techniques is very problematic. The observed deviations can easily reach 100% of the layer thickness to be measured. In order to analyse these deviations, tactile reference measurements have been developed. The proposed method is based on contact mode measurements with low contact pressure. With stylus instruments, this can be realized either by using the recommended tip radius of 2 mu m and very small probing forces in the micronewton range (and low scanning speeds of 50 mu m s(-1)) or by using the recommended probing force of 750 mu N, but a large probing tip radius. Three metal layers on silicon or silicon dioxide and two polymer resist materials on a thin chromium adhesive layer on silicon are used as artefacts. The comparison of the optical measurements with the tactile reference values disclosed deviations of the optical measurements of up to 195% of the layer thickness. Layer thicknesses were between 200 nm and 4 mu m.

  • Název v anglickém jazyce

    Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO(2)

  • Popis výsledku anglicky

    The thickness measurement of transparent layers with optical techniques is very problematic. The observed deviations can easily reach 100% of the layer thickness to be measured. In order to analyse these deviations, tactile reference measurements have been developed. The proposed method is based on contact mode measurements with low contact pressure. With stylus instruments, this can be realized either by using the recommended tip radius of 2 mu m and very small probing forces in the micronewton range (and low scanning speeds of 50 mu m s(-1)) or by using the recommended probing force of 750 mu N, but a large probing tip radius. Three metal layers on silicon or silicon dioxide and two polymer resist materials on a thin chromium adhesive layer on silicon are used as artefacts. The comparison of the optical measurements with the tactile reference values disclosed deviations of the optical measurements of up to 195% of the layer thickness. Layer thicknesses were between 200 nm and 4 mu m.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2011

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Measurement Science and Technology

  • ISSN

    0957-0233

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    22

  • Číslo periodika v rámci svazku

    9

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    14

  • Strana od-do

    094021-094034

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus