In situ diagnostics of RF magnetron sputtering of nylon

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F09%3A00206794" target="_blank" >RIV/00216208:11320/09:00206794 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

In situ diagnostics of RF magnetron sputtering of nylon

Popis výsledku v původním jazyce

RF magnetron sputtering of nylon in Ar, N2 and their mixtures was monitored by mass spectrometry and optical emission spectroscopy. Various carbon-containing species were detected and their densities were found to correlate with deposition rate and chemical composition of the films.

Název v anglickém jazyce

In situ diagnostics of RF magnetron sputtering of nylon

Popis výsledku anglicky

RF magnetron sputtering of nylon in Ar, N2 and their mixtures was monitored by mass spectrometry and optical emission spectroscopy. Various carbon-containing species were detected and their densities were found to correlate with deposition rate and chemical composition of the films.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanokompozitní vrstvy a nanočástice vytvářené v nízkotlakém plazmatu pro povrchové modifikace</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

6

Číslo periodika v rámci svazku

S1

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000272302900153

EID výsledku v databázi Scopus

—