Chemical-Mechanical Polishing of CdTe and Zn(x)Cd(1-x)Te Single Crystals by H2O2(HNO3)-HBr-Organic Solvent Etchant Compositions

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F09%3A00207230" target="_blank" >RIV/00216208:11320/09:00207230 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Chemical-Mechanical Polishing of CdTe and Zn(x)Cd(1-x)Te Single Crystals by H2O2(HNO3)-HBr-Organic Solvent Etchant Compositions

Popis výsledku v původním jazyce

Chemical-mechanical polishing of CdTe and Zn(x)Cd(1-x)Te single-crystal surfaces by bromine-evolving compositions based on aqueous solutions of H2O2(HNO3)-HBr-solvent has been investigated. The dependences of the chemical-mechanical polishing rate on thedilution of the base polishing etchant for various organic components have been determined. The surface condition after such polishing has been investigated using profilometry.

Název v anglickém jazyce

Chemical-Mechanical Polishing of CdTe and Zn(x)Cd(1-x)Te Single Crystals by H2O2(HNO3)-HBr-Organic Solvent Etchant Compositions

Popis výsledku anglicky

Chemical-mechanical polishing of CdTe and Zn(x)Cd(1-x)Te single-crystal surfaces by bromine-evolving compositions based on aqueous solutions of H2O2(HNO3)-HBr-solvent has been investigated. The dependences of the chemical-mechanical polishing rate on thedilution of the base polishing etchant for various organic components have been determined. The surface condition after such polishing has been investigated using profilometry.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F09%2F1920" target="_blank" >GA102/09/1920: Stochastické jevy v polovodičových strukturách MIS a MIM</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Electronic Materials

ISSN

0361-5235

e-ISSN

—

Svazek periodika

38

Číslo periodika v rámci svazku

8

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000268745400020

EID výsledku v databázi Scopus

—