XRD total pattern fitting applied to study of microstructure of TiO2 films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F10%3A10057500" target="_blank" >RIV/00216208:11320/10:10057500 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

XRD total pattern fitting applied to study of microstructure of TiO2 films

Popis výsledku v původním jazyce

New XRD total pattern fitting software MSTRUCT was used to study the microstructure of magnetron-deposited TiO2 thin films. MSTRUCT is an extension of the FOX program for structure determination from powder diffraction data. MSTRUCT makes corrections forrefraction and absorption, residual stress, and preferred orientation that are necessary for thin-film analysis using the parallel-beam geometry and an asymmetric detector scan with small angles of incidence. The program also corrects for crystallite size broadening in terms of log-normal distribution, two models of strain phenomenological and dislocation models, as well as the influence of stacking faults in the most common cubic and hexagonal structures. The results show that during crystallization of the amorphous TiO2 films, tensile stresses were generated resulting in anisotropic shifts of diffraction peaks. The consideration of the stress effect in terms of the weighted Reuss-Voigt model improved the fits significantly.

Název v anglickém jazyce

XRD total pattern fitting applied to study of microstructure of TiO2 films

Popis výsledku anglicky

New XRD total pattern fitting software MSTRUCT was used to study the microstructure of magnetron-deposited TiO2 thin films. MSTRUCT is an extension of the FOX program for structure determination from powder diffraction data. MSTRUCT makes corrections forrefraction and absorption, residual stress, and preferred orientation that are necessary for thin-film analysis using the parallel-beam geometry and an asymmetric detector scan with small angles of incidence. The program also corrects for crystallite size broadening in terms of log-normal distribution, two models of strain phenomenological and dislocation models, as well as the influence of stacking faults in the most common cubic and hexagonal structures. The results show that during crystallization of the amorphous TiO2 films, tensile stresses were generated resulting in anisotropic shifts of diffraction peaks. The consideration of the stress effect in terms of the weighted Reuss-Voigt model improved the fits significantly.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Powder Diffraction

ISSN

0885-7156

e-ISSN

—

Svazek periodika

25

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000278718400009

EID výsledku v databázi Scopus

—