Atomic Force Microscopy in Optical Imaging and Characterization

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F12%3A10129409" target="_blank" >RIV/00216208:11320/12:10129409 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.intechopen.com/books/atomic-force-microscopy-imaging-measuring-and-manipulating-surfaces-at-the-atomic-scale/afm-in-optical-imaging-and-characterization" target="_blank" >http://www.intechopen.com/books/atomic-force-microscopy-imaging-measuring-and-manipulating-surfaces-at-the-atomic-scale/afm-in-optical-imaging-and-characterization</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.5772/35559" target="_blank" >10.5772/35559</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Atomic Force Microscopy in Optical Imaging and Characterization

Popis výsledku v původním jazyce

Atomic force microscopy and its advantages and disadvantages are presented in comparison with optical techniques (near-field optical microscopy and optical spectroscopic scatterometry), as well as their mutual cooperation. The methods are analyzed with respect to monitoring rough surfaces, critical dimensions and cross-sectional shapes of patterned nanostructures, and the linewidth and line-edge roughness of patterned elements.

Název v anglickém jazyce

Atomic Force Microscopy in Optical Imaging and Characterization

Popis výsledku anglicky

Atomic force microscopy and its advantages and disadvantages are presented in comparison with optical techniques (near-field optical microscopy and optical spectroscopic scatterometry), as well as their mutual cooperation. The methods are analyzed with respect to monitoring rough surfaces, critical dimensions and cross-sectional shapes of patterned nanostructures, and the linewidth and line-edge roughness of patterned elements.

Druh

C - Kapitola v odborné knize

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název knihy nebo sborníku

Atomic Force Microscopy - Imaging, Measuring and Manipulating Surfaces at the Atomic Scale

ISBN

978-953-51-0414-8

Počet stran výsledku

20

Strana od-do

19-38

Počet stran knihy

256

Název nakladatele

InTech

Místo vydání

Rijeka, Croatia

Kód UT WoS kapitoly

—