Study of DC Cylindrical Magnetron by Langmuir Probe

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F12%3A10133151" target="_blank" >RIV/00216208:11320/12:10133151 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf12/WDS12_213_f2_Kolpakova.pdf" target="_blank" >http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf12/WDS12_213_f2_Kolpakova.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of DC Cylindrical Magnetron by Langmuir Probe
Popis výsledku v původním jazyce
We present results of the Langmuir probe measurements in the cylindrical magnetron apparatus in this paper. Measurements were performed in low-temperature and low-pressure neon plasma. This work aims to study the impact of different values of macroparameters (e.g. discharge current, the strength of the magnetic field, pressure) on plasma microparameters (floating potential, plasma potential, electron density). The radial profiles of plasma parameters were obtained from Langmuir probe characteristics. New results of neon plasma are mutually complementary and well comparable with previous measurements in argon.
Název v anglickém jazyce
Study of DC Cylindrical Magnetron by Langmuir Probe
Popis výsledku anglicky
We present results of the Langmuir probe measurements in the cylindrical magnetron apparatus in this paper. Measurements were performed in low-temperature and low-pressure neon plasma. This work aims to study the impact of different values of macroparameters (e.g. discharge current, the strength of the magnetic field, pressure) on plasma microparameters (floating potential, plasma potential, electron density). The radial profiles of plasma parameters were obtained from Langmuir probe characteristics. New results of neon plasma are mutually complementary and well comparable with previous measurements in argon.

Projekt
<a href="/cs/project/GAP205%2F11%2F0386" target="_blank" >GAP205/11/0386: Pokročilý experimentální výzkum výbojových zdrojů plazmatu použitých pro přípravu nanostrukturovaných tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
WDS'12 Proceedings of Contributed Papers: Part II - Physics of Plasmas and Ionized Media
ISBN
978-80-7378-225-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
76-80
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
29. 5. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)