Lattice strain of hydrogen-implanted silicon: Correlation between X-ray scattering analysis and ab-initio simulations
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F13%3A10140012" target="_blank" >RIV/00216208:11320/13:10140012 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4800538" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4800538</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4800538" target="_blank" >10.1063/1.4800538</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Lattice strain of hydrogen-implanted silicon: Correlation between X-ray scattering analysis and ab-initio simulations
Popis výsledku v původním jazyce
Hydrogen implanted silicon has been studied using high resolution X-ray scattering. Strain induced by implantation has been measured as a function of implantation dose. The dependence of strain with implanted dose shows different regimes starting from linear to quadratic and saturation. The observed strain is consistent with ab-initio and elasticity calculations. Strain rate changes can be associated to the predominant location of hydrogen in bond center location. (C) 2013 AIP Publishing LLC
Název v anglickém jazyce
Lattice strain of hydrogen-implanted silicon: Correlation between X-ray scattering analysis and ab-initio simulations
Popis výsledku anglicky
Hydrogen implanted silicon has been studied using high resolution X-ray scattering. Strain induced by implantation has been measured as a function of implantation dose. The dependence of strain with implanted dose shows different regimes starting from linear to quadratic and saturation. The observed strain is consistent with ab-initio and elasticity calculations. Strain rate changes can be associated to the predominant location of hydrogen in bond center location. (C) 2013 AIP Publishing LLC
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Applied Physics
ISSN
0021-8979
e-ISSN
—
Svazek periodika
113
Číslo periodika v rámci svazku
15
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000318251400017
EID výsledku v databázi Scopus
—