Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F13%3A10191399" target="_blank" >RIV/00216208:11320/13:10191399 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68378271:_____/13:00437315

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002" target="_blank" >10.1002/ctpp.201310002</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System

  • Popis výsledku v původním jazyce

    This article reports on experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system operated in the continuous DC regime of the discharge excitation. Presented measurements were focused on the description of the working pressureimpact on the basic discharge characteristics. The pressure dependence of the gas flow velocity from the nozzle was examined by means of Pitot tube. Further an approximate measurement of the discharge current spatial distribution was realized as well. The second half of the article presents results from Langmuir probe measurements under the conditions of low pressures in the range of units of pascals. These conditions are of special importance in some particular applications especially in preparation ofthin layers with high crystallinity. Used experimental setup enabled to perform Langmuir probe diagnostic with spatial resolution both in the plasma jet axis direction and in the direction perpendicular to it.

  • Název v anglickém jazyce

    Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System

  • Popis výsledku anglicky

    This article reports on experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system operated in the continuous DC regime of the discharge excitation. Presented measurements were focused on the description of the working pressureimpact on the basic discharge characteristics. The pressure dependence of the gas flow velocity from the nozzle was examined by means of Pitot tube. Further an approximate measurement of the discharge current spatial distribution was realized as well. The second half of the article presents results from Langmuir probe measurements under the conditions of low pressures in the range of units of pascals. These conditions are of special importance in some particular applications especially in preparation ofthin layers with high crystallinity. Used experimental setup enabled to perform Langmuir probe diagnostic with spatial resolution both in the plasma jet axis direction and in the direction perpendicular to it.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2013

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Contributions to Plasma Physics

  • ISSN

    0863-1042

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    53

  • Číslo periodika v rámci svazku

    1

  • Stát vydavatele periodika

    DE - Spolková republika Německo

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

    10-15

  • Kód UT WoS článku

    000313491700005

  • EID výsledku v databázi Scopus