Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F13%3A10191399" target="_blank" >RIV/00216208:11320/13:10191399 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/13:00437315
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.201310002" target="_blank" >10.1002/ctpp.201310002</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System
Popis výsledku v původním jazyce
This article reports on experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system operated in the continuous DC regime of the discharge excitation. Presented measurements were focused on the description of the working pressureimpact on the basic discharge characteristics. The pressure dependence of the gas flow velocity from the nozzle was examined by means of Pitot tube. Further an approximate measurement of the discharge current spatial distribution was realized as well. The second half of the article presents results from Langmuir probe measurements under the conditions of low pressures in the range of units of pascals. These conditions are of special importance in some particular applications especially in preparation ofthin layers with high crystallinity. Used experimental setup enabled to perform Langmuir probe diagnostic with spatial resolution both in the plasma jet axis direction and in the direction perpendicular to it.
Název v anglickém jazyce
Experimental Study of the Discharge in the Low Pressure Plasma Jet Sputtering System
Popis výsledku anglicky
This article reports on experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system operated in the continuous DC regime of the discharge excitation. Presented measurements were focused on the description of the working pressureimpact on the basic discharge characteristics. The pressure dependence of the gas flow velocity from the nozzle was examined by means of Pitot tube. Further an approximate measurement of the discharge current spatial distribution was realized as well. The second half of the article presents results from Langmuir probe measurements under the conditions of low pressures in the range of units of pascals. These conditions are of special importance in some particular applications especially in preparation ofthin layers with high crystallinity. Used experimental setup enabled to perform Langmuir probe diagnostic with spatial resolution both in the plasma jet axis direction and in the direction perpendicular to it.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Contributions to Plasma Physics
ISSN
0863-1042
e-ISSN
—
Svazek periodika
53
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
10-15
Kód UT WoS článku
000313491700005
EID výsledku v databázi Scopus
—