Diagnostika plazmového tryskového systému pomocí Langmuirovské sondy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00325016" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00325016 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system

Popis výsledku v původním jazyce

Selected recent results on the application of Langmuir probes to diagnose plasma jet systems are presented. To demonstrate the versatility of the Langmuir probe method we give examples of measurements of the spatial distribution of the plasma parametersas well as their temporal dependence in cases when the plasma jet system operates in a pulsed regime. A part of this paper is devoted to introducing the Langmuir probe technique, especially with regard to its application under conditions when collisionsbetween the charged and neutral particles in the probe sheath cannot be neglected and when the electron energy distribution function in plasma cannot be approximated by a Maxwellian one. In the experimental part we present Langmuir probe measurement of low-pressure and atmospheric-pressure plasma jet systems that are currently used for experiments with deposition of materials with special properties.

Název v anglickém jazyce

Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system

Popis výsledku anglicky

Selected recent results on the application of Langmuir probes to diagnose plasma jet systems are presented. To demonstrate the versatility of the Langmuir probe method we give examples of measurements of the spatial distribution of the plasma parametersas well as their temporal dependence in cases when the plasma jet system operates in a pulsed regime. A part of this paper is devoted to introducing the Langmuir probe technique, especially with regard to its application under conditions when collisionsbetween the charged and neutral particles in the probe sheath cannot be neglected and when the electron energy distribution function in plasma cannot be approximated by a Maxwellian one. In the experimental part we present Langmuir probe measurement of low-pressure and atmospheric-pressure plasma jet systems that are currently used for experiments with deposition of materials with special properties.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Sources Science & Technology

ISSN

0963-0252

e-ISSN

—

Svazek periodika

18

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000262897600011

EID výsledku v databázi Scopus

—