Determination of the thickness of polycrystalline thin films by using X-ray methods

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F15%3A10311936" target="_blank" >RIV/00216208:11320/15:10311936 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61989100:27710/15:86095574

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.03.016" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.03.016</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.03.016" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2015.03.016</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Determination of the thickness of polycrystalline thin films by using X-ray methods

Popis výsledku v původním jazyce

The knowledge of the thickness of thin layer on substrate is quite important, sometimes even critical, for analysis of the layer properties and behavior. Among a large number of methods the X-ray methods are non-destructive and can simultaneously provideinformation about the structure and microstructure of the layer. These methods are capable to resolve the thickness of the layer within the range 5-300 nm for in-house diffractometers. The method of the first choice is usually the X-ray reflectivity. Inthe case of reflection of X-rays the most limiting factor is the roughness of the interfaces, i.e. the layer and substrate and the thickness inhomogeneity. If the roughness increases certain value the intensity of the specularly reflected intensity drops down very suddenly and the thickness of the layer couldn't be decided. In that case one can use X-ray powder diffraction in very asymmetric geometry, for example in the coplanar grazing-exit parallel beam setup. In this setup the thickn

Název v anglickém jazyce

Determination of the thickness of polycrystalline thin films by using X-ray methods

Popis výsledku anglicky

The knowledge of the thickness of thin layer on substrate is quite important, sometimes even critical, for analysis of the layer properties and behavior. Among a large number of methods the X-ray methods are non-destructive and can simultaneously provideinformation about the structure and microstructure of the layer. These methods are capable to resolve the thickness of the layer within the range 5-300 nm for in-house diffractometers. The method of the first choice is usually the X-ray reflectivity. Inthe case of reflection of X-rays the most limiting factor is the roughness of the interfaces, i.e. the layer and substrate and the thickness inhomogeneity. If the roughness increases certain value the intensity of the specularly reflected intensity drops down very suddenly and the thickness of the layer couldn't be decided. In that case one can use X-ray powder diffraction in very asymmetric geometry, for example in the coplanar grazing-exit parallel beam setup. In this setup the thickn

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA14-23274S" target="_blank" >GA14-23274S: Nekonvenční příprava nanostrukturovaných oxidů kovů pomocí přetlakových a superkritických tekutin</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

591

Číslo periodika v rámci svazku

September

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

215-218

Kód UT WoS článku

000362008000012

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-84942820847