Study of Gas Aggregation Cluster Source by Means of Probe Diagnostic
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F17%3A10372301" target="_blank" >RIV/00216208:11320/17:10372301 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf17/WDS17_19_f2_Kolpakova.pdf" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf17/WDS17_19_f2_Kolpakova.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of Gas Aggregation Cluster Source by Means of Probe Diagnostic
Popis výsledku v původním jazyce
Spatial profiles of plasma parameters were investigated in "diagnostic" gas aggregation cluster source (GAS). Nylon-sputtered nanoparticles (NPs) were prepared by means of GAS based on a planar RF magnetron with a Nylon target, which was sputtered in pure Ar. Plasma polymer particles originated in an aggregation chamber and travelled to a main (deposition) chamber with a gas flow through an orifice. The spatial profiles of plasma parameters were obtained by means of radially movable heated probe and thanks to special construction of axially movable gas aggregation chamber. Two situations were studied: (1) plasma without presence of nanoparticles and (2) plasma with production of nanoparticles.
Název v anglickém jazyce
Study of Gas Aggregation Cluster Source by Means of Probe Diagnostic
Popis výsledku anglicky
Spatial profiles of plasma parameters were investigated in "diagnostic" gas aggregation cluster source (GAS). Nylon-sputtered nanoparticles (NPs) were prepared by means of GAS based on a planar RF magnetron with a Nylon target, which was sputtered in pure Ar. Plasma polymer particles originated in an aggregation chamber and travelled to a main (deposition) chamber with a gas flow through an orifice. The spatial profiles of plasma parameters were obtained by means of radially movable heated probe and thanks to special construction of axially movable gas aggregation chamber. Two situations were studied: (1) plasma without presence of nanoparticles and (2) plasma with production of nanoparticles.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA15-00863S" target="_blank" >GA15-00863S: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS'17 Proceedings of Contributed Papers — Physics
ISBN
978-80-7378-356-3
ISSN
—
e-ISSN
neuvedeno
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
121-126
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Prague, Czech Republic
Datum konání akce
6. 6. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—